主要技术指标 台阶仪预热时间15min；工作温度-3℃--21℃；所承受样品最大重量2.5kg；分辨率10A；垂直分辨率 1A；扫描长度 50μm—50mm； 

主要功能和用途  主要用于对样品表面形貌及薄膜样品台阶的测试；厚度6500nm；可测样品最大厚度 25.4mm；最大样品尺寸200mm；垂直测量范围 标配262μm；扩展扫描可达 100mm；扫描持续时间3—200秒；扫描速度 15000个数据点/50秒；最多可扫描60000个数据点。 

仪器原理说明 

主要附件、选件名称及指标 探针：材料为金刚石；探针半径12.5μm；探针弹力500mN； 探针对样品施加的力 1mg—15mg可调。