主要技术指标 放大倍数：300---800000X 最佳分辨率：1.4 nm 加速电压：0.2---30 KV 能谱仪分辨率：128 V 

主要功能和用途  主要用于固体材料表面形貌观察和表征，以及表面成分的半定量分析。 

仪器原理说明 利用高能电子束与固体试样相互作用激发的二次电子信号和背射电子信号对样品表面的形貌进行观察；同时利用高能电子束与试样相互作用激发的X-射线信号对试样的成分进行测定。